在具磨损与预调测量过程中，机器视觉技术也有其用武之地，例如测量某些形状、尺寸特殊的工件或者某些已经形变的工件。它相比于传统测量方法更加简单，不需要将具卸下再测量具磨损程度，它所采用的是光源检测法。首先确定光线照射强度与拍摄角度，将光源通过光线射入到镜头周围，进而大限度减小由阴影所造成的测量误差。此时再自由转动夹具调整角度，随着转动角度越来越大，成像设备尺寸就会越来越小，这间接了机器视觉系统的实际测量范围。另外，通过对磨损具前后横向尺寸差及磨损度的计算对比，也相应简化具机械精密测量自动化的应用过程。经过实践表明，如果采用机器视觉技术来测量具磨损并预调测量过程，它的测量信噪比会降低到46db左右，无论是测量速度还是测量精度都达到了较高水准。而且该系统技术还支持在线测量，非常方便。从常规技术应用角度来讲，机器视觉技术更适合于精密测量那些常规形状具，而不适于测量几何形状过于复杂的特殊具。
在具预调测量应用中，它突破了传统中光学投影与光栅数显表相结合的测量，而是采用机器视觉与光栅技术相结合，设计出了具预调测量仪技术，并融入了自动化控制思维，彻底颠覆了传统测量方法，大幅度了测量的精度与简易度，对具测量工作效率的也有很大帮助。另外在逆向工程中，机器视觉测量技术也有应用，这里所提到的逆向工程主要针对现成工件进行测量。它会利用到3d数字化测量仪器技术，对逆向工程中的设备元件进行轮廓坐标值的快速准确测量，并基于编辑修改来调整建构它的曲面部分，存档图形并将它转化为cad/cam可读文件，后通过快速成型机来制作样品模型。在该精密测量技术体系中，它首先利用测量系统来测量样品轮廓三维尺寸，并取得各点数据作为曲面处理予以加工，终成型。当前，机器视觉系统也利用它的ccd照相机光电器件来进行基于三角法的快速轮廓视觉测量，再配合线结构光测量物体表面的基本结构轮廓。