三氯氧磷又称磷酰氯、氧氯化磷。分子式POCl3，分子量153.33。无色透明发烟液体。熔点2℃，沸点105.3℃。相对密度1.675。易挥发，有强烈的刺激气味。露于潮湿空气中，水解为磷酸和氯化氢，发生白烟。易被水和乙醇分解，并放出大量热和氯化氢。有强腐蚀性。三氯氧磷是一种重要的化工原料，为无色透明发烟液体，广泛应用于农药、医药、染料、磷酸酯及阻燃剂的生产，是制造有机磷农药除草剂、杀虫脒等的原料，也用于生产塑料增塑剂，还可用于长效磺胺药品的氯化反应，是生产染料的中间体、有机合成的氯化剂和催化剂以及铀矿的提取剂等。用于制取磷酸二苯-异辛酯、磷酸三乙酯等磷酸酯，塑料增塑剂，有机磷农药，长效磺胺药物等。还可用作染料中间体，有机合成的氯化剂和催化剂，阻燃剂。电子级三氯氧磷的用途在太阳能行业，集成电路，分离器件，光线预制棒等液态磷源也可制备磷酸酯。在半导体行业主要用于N型掺杂源，在0℃反应效果。