X射线光电子能谱分析仪是采用X射线辐射样品，使原子或分子的内层电子受激发射出来，这是一种XPS表面分析的方法，这种光电子用来测量其能量和数量，以获得待测物组成。
XPS主要应用是测定电子的结合能来鉴定样品表面的化学性质及组成的分析，其特点在光电子来自表面10nm以内，仅带出表面的化学信息，具有分析区域小、分析深度浅和不破坏样品的特点，广泛应用于金属、无机材料、催化剂、聚合物、涂层材料矿石等各种材料的研究，以及腐蚀、摩擦、润滑、粘接、催化、包覆、氧化等过程的研究。
使用X射线光电子能谱分析仪（XPS）的注意事项
（1）样品规格尽量限制在11×1×0.5cm，如果样品尺寸过大，则需要切割取样。
（2）取样时，一定要避免用手和工具接触需要测试的位置，等待取下样品后，要使用真空包装或者其他能隔离的保证，这样可以避免外来的污染影响分析结果的准确性。
（3）使用X射线光电子能谱分析仪进行XPS测试时，其样品可以喷不大于1nm的薄金，这里还需要注意的是，可以测试弱导电性的样品，但不可以测试绝缘样品。
（4）X射线光电子能谱分析仪进行XPS元素分析，其范围在Li-U，X射线光电子能谱分析仪只能测试无机物质，检出限0.1%。
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