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臭氧氧化法脱硝主要是利用臭氧的强氧化性,将不可溶的低价态氮氧化物氧化为可溶的高价态氮氧化物,然后在洗涤塔内将氮氧化物吸收,达到脱除的与气相中的其他化学物质如CO,SOx等相比,NOx可以很快地被臭氧氧化,这就使得NOx的臭氧氧化具有很高的选择性。因为气相中的NOx被转化成溶于水溶液的离子化合物,这就使得氧化反应更加完全,从而不可逆地脱除了NOx,而不产生二次污染。