空气净化技术是电子厂净化车间的核心。其中，主要的净化技术包括过滤、静电除尘、化学吸附等。过滤器可以有效地过滤空气中的微粒，将空气中的尘埃、等颗粒物截留下来。

静电除尘技术则可以通过静电作用将空气中带电粒子去除，进一步提高空气质量。化学吸附技术则可以去除空气中的有害气体，例如甲醛、苯等有机物。这些技术的综合应用，可以确保车间内的空气干净、清洁，符合生产要求。

丙类生产的电子工业洁净厂房的洁净室（区），在关键生产设备设有火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，其每个防火分区的允许建筑面积可按生产工艺要求确定。

净化工程包括：乱流式、乱流式、复合式。

1、乱流式

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

2、层流式

层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。

3、复合式

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。